利用光伏效應(yīng)，使太陽光射到硅材料上產(chǎn)生電流，直接發(fā)電，以硅材料的應(yīng)用開發(fā)形成的產(chǎn)業(yè)鏈，稱之為“光伏產(chǎn)業(yè)”。其包括高純單晶硅/多晶硅原材料生產(chǎn)、硅切片生產(chǎn)、太陽能電池生產(chǎn)、太陽能電池組件生產(chǎn)、相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備的制造等。

在光伏產(chǎn)業(yè)中，工藝廢氣產(chǎn)生的主要階段為硅切片生產(chǎn)、太陽能電池生產(chǎn)和太陽能電池組件生產(chǎn)。

廢氣種類

工藝廢氣的種類主要包括酸堿廢氣、有機廢氣、熱排和普通氣體、含粉塵氣體和易燃易爆氣體(硅烷廢氣等)。

一、酸堿廢氣處理系統(tǒng)

酸堿廢氣產(chǎn)生于硅切片清洗、切片階段，電池片制絨、擴散和去PSG階段，是由于這些階段使用的化學(xué)藥劑揮發(fā)、霧化生成；主要成分為鹽酸，硫酸，氫氟酸，氫氧化鈉等。

1.1原理

采用“洗滌法”處理，廢氣通過洗滌塔,與其中的洗滌夜發(fā)生中和反應(yīng)得到凈化；其中酸性氣體通過堿性洗滌液，堿性氣體通過酸性洗滌液。

具體流程：

廢氣由進風(fēng)口流入，從下至上流過填料床，洗滌液從上至下流過填料床。這種氣液逆流方式使廢氣與洗滌液充分作用，有效清除廢氣中的雜質(zhì)。

洗滌液流入洗滌塔底部的污水槽，循環(huán)泵循環(huán)洗滌液，為了達到最大的去除效率，在洗滌塔頂部的非固定式螺旋噴嘴為填料床提供均勻而連續(xù)的洗滌液。

在洗滌塔的出口處，凈化過的氣體流過除霧層，清除99% 的10微米的水霧。

洗滌塔使氣體從氣態(tài)轉(zhuǎn)化為液態(tài)的過程稱為化學(xué)吸附。通過洗滌塔內(nèi)部放置的填料，使這一轉(zhuǎn)化的效率大大的提高；填料不但增大了氣液混合物的接觸面積，同時不斷破壞水滴，使新形成的水滴表面總是暴露于空氣中，極大的提高了吸附效率。

洗滌液的酸堿度通過加藥設(shè)施精確控制，使得廢氣中可溶性部分被洗滌液吸附，轉(zhuǎn)化成中性的液體最終排放出洗滌塔。

1.2主要設(shè)備

包含風(fēng)機、塔體、水泵、螺旋噴頭、除霧器填料等。

1.3處理效果

采用這種處理方案可以極好的除去酸堿廢氣，最終達標排放；并且還有低壓力損失（節(jié)省電力），不易堵塞，維修簡便等優(yōu)點。是目前光伏產(chǎn)業(yè)中最常用的處理方案。

二、揮發(fā)性有機廢氣處理系統(tǒng)

揮發(fā)性有機廢氣產(chǎn)生于硅切片廢線切割階段，電池片絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)階段，是由于這些階段高溫高熱使有機物揮發(fā)生成；主要成分為揮發(fā)性有機氣體。

有機廢氣的處理一般采用“吸附法”、“燃燒法”或者“吸附+燃燒法”。

“吸附法”是利用活性炭等吸附劑的吸附能力，將有機廢氣吸附于設(shè)備內(nèi)，定期更換吸附劑，達到處理效果。

“燃燒法”是將有機廢氣通過RTO(蓄熱式氧化器)、RCO（蓄熱式催化氧化器），高溫分解為水和二氧化碳。

“吸附+燃燒法”分為“活性炭吸附+濃縮燃燒”和“濃縮轉(zhuǎn)輪+燃燒”兩種工藝。

（1）“活性炭吸附+濃縮燃燒”工藝。

吸附濃縮-催化燃燒有機廢氣處理工藝，采用阻力小的活性炭為VOCs吸附材料，將廢氣中的VOCs吸附達標排放。脫附濃縮的VOCs經(jīng)催化低溫燃燒，轉(zhuǎn)化為潔凈的CO2和H2O ，達標排放。吸附床一般配置兩臺以上，交替吸脫附，當(dāng)一臺吸附床吸附的VOCs達到飽和吸附量時，轉(zhuǎn)入脫附再生工序；同時，另一臺吸附床轉(zhuǎn)入吸附凈化工序。脫附是通過將小風(fēng)量催化燃燒放熱后的煙氣(約吸附風(fēng)量的1/10)引入待脫附的吸附床，使吸附的VOCs以高濃度脫附下來，隨后進入催化燃燒室進行低溫?zé)o焰式催化燃燒，燃燒產(chǎn)物為CO2和H2O。濃縮后的VOCs催化燃燒放熱足以維持自身催化反應(yīng)，運行以后不需額外提供能量，節(jié)能顯著。蜂窩活性炭顯著特點是阻力低,因此非常適合于大風(fēng)量、低濃度有機廢氣的處理。

（2）“濃縮轉(zhuǎn)輪+燃燒”工藝

技術(shù)原理沸石轉(zhuǎn)輪濃縮吸附裝置是用吸附－脫附－濃縮三項連續(xù)變溫的吸、脫附程序，使低濃度、大風(fēng)量有機廢氣濃縮為高濃濃縮氣體。其裝置特性適合處理大流量、低濃度、含多種有機成分的廢氣。通過轉(zhuǎn)輪的旋轉(zhuǎn)，可在轉(zhuǎn)輪上同時完成氣體的脫附和轉(zhuǎn)輪的再生過程。進入濃縮轉(zhuǎn)輪的有機廢氣在常溫下被轉(zhuǎn)輪吸附區(qū)吸附凈化后直接排放至大氣，接著因轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動而進入脫附區(qū)，吸附了有機物質(zhì)的轉(zhuǎn)輪在此區(qū)內(nèi)脫附，吸附在轉(zhuǎn)輪上的有機物被分離、脫附、進入后續(xù)燃燒系統(tǒng)，最終被氧化分解成二氧化碳和水，如此循環(huán)工作。

燃燒室中的蓄熱式陶瓷填充床可使熱能得到最大限度的回收利用（熱回收率大于95%），處理有機氣體時不用或使用很少的燃料，節(jié)能效果好，運行費用低，不產(chǎn)生二次污染，但整體設(shè)備的造價很高，適用于有機廢氣量大項目。

三、易燃易爆廢氣處理系統(tǒng)

產(chǎn)生于電池片PECVD階段，是生產(chǎn)過程中殘余的氣體；主要成分為硅烷氣體和氨氣等易燃易爆氣體。

硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷、乙硅烷和一些硅氫化合物，硅烷廢氣處理采用燃燒+洗滌法凈化硅烷氣體，系統(tǒng)內(nèi)包含：硅烷廢氣燃燒設(shè)備+濾筒除塵器+噴淋塔。

工作原理：工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風(fēng)補氣口補入的空氣接觸而自燃或發(fā)生氧化反應(yīng)，反應(yīng)后生成大量的二氧化硅粉塵；氨氣采用洗滌塔噴淋吸收形成氨水。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設(shè)備的安全性。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效，后續(xù)工藝還配套了濾筒除塵技術(shù)，進一步去除氧化硅粉塵，提升粉塵的治理效率。

四、含粉塵氣體處理系統(tǒng)

含粉塵氣體產(chǎn)生于硅切片砂漿攪拌階段，是由于攪拌過程中的粉塵造成；主要成分為可吸入顆粒物。采用“吸附法”去處粉塵后直接排放。

主要設(shè)備包含布袋除塵器，風(fēng)機。

粉塵氣體經(jīng)過布袋除塵器，粉塵被吸附在過濾網(wǎng)上，氣體直接排放。需要定期對濾網(wǎng)清洗，保證處理效果。

五、熱排和普通氣體處理系統(tǒng)

熱排和普通氣體產(chǎn)生于電池片絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)階段，組件層壓、單焊和串焊階段，以及更衣室的排風(fēng)，是由于這些階段熱排風(fēng)和普通排風(fēng)造成；主要成分為熱空氣和異味氣體。

成分為普通空氣，采用高空直接排放方式處理，將風(fēng)機放置于屋頂，直接排放，減少對車間環(huán)境的影響。